普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀是一種基于質(zhì)譜原理的檢漏儀器，由真空系統(tǒng)、氦氣充填系統(tǒng)、氣體采樣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。檢測時，將被測物體置于真空室內(nèi)，使其內(nèi)部達到所需真空度后，使用氦氣充填系統(tǒng)向被測物體外部充填氦氣，并通過氣體采樣系統(tǒng)將被測物體周圍環(huán)境中的氦氣吸入系統(tǒng)內(nèi)部。在采集過程中，加熱系統(tǒng)會對被測物體進行加熱處理，以促進任何潛在泄漏點的放大和釋放氦氣。采集到的氦氣進入真空室內(nèi)的質(zhì)譜儀中進行分析，通過檢測氦氣分子的質(zhì)量/電荷比，來確定被測物體是否存在泄漏。

　　普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過程中可能會遇到一些常見問題，以下是這些問題的詳細介紹及解決方法：

　　1、靈敏度低

　　原因分析：可能是由于氦氣輸送管道存在泄漏、檢漏儀保護罩安裝不正確或檢漏儀探頭的距離和角度不合適。

　　解決方法：檢查并修復氦氣輸送管道的泄漏點，確保檢漏儀保護罩正確安裝，調(diào)整檢漏儀探頭的距離和角度至合適位置。

　　2、檢測結(jié)果不準確

　　原因分析：可能是儀器內(nèi)部存在泄漏、檢測信號受到干擾或質(zhì)譜室出現(xiàn)故障。

　　解決方法：使用噴吹法對儀器內(nèi)部的密封部位進行檢測，找出泄漏點并進行修復；排除檢測信號的干擾源；若質(zhì)譜室出現(xiàn)故障，需由專業(yè)人員進行維修或更換相關部件。

　　3、機械泵不動作

　　原因分析：電源電壓不正常、開關未打開、繞組斷路或接地、電機過熱等。

　　解決方法：檢查電源電壓是否正常、開關是否打開，檢查繞組是否斷路或接地，等待電機冷卻后嘗試重新啟動。

　　4、分子泵不工作

　　原因分析：前級壓力過高、電路板上的保險絲燒斷、分子泵葉片或轉(zhuǎn)子被損害等。

　　解決方法：檢查導致前級壓力過高的項目并進行處理，更換燒斷的保險絲或檢查是否有短路現(xiàn)象，若分子泵葉片或轉(zhuǎn)子被損害，需更換新的分子泵。

　　5、燈絲無法正常啟動

　　原因分析：機械泵、分子泵未處于正常工作狀態(tài)，離子源航空插座與接線柱開路或其接線柱與其他接頭導通造成短路。

　　解決方法：確保機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路則更換燈絲，若不開路則檢查其接線柱與其他接頭是否導通，消除短路現(xiàn)象。

　　6、本底信號雜亂波動

　　原因分析：放大器出現(xiàn)故障。

　　解決方法：由專業(yè)人員對放大器進行檢查和維修。

　　7、檢漏鍵無效

　　原因分析：燈絲沒有啟動或燈絲斷、I/O短接插頭未插入儀器后面插座。

　　解決方法：檢查燈絲是否啟動或斷裂，若斷裂則更換燈絲；確保I/O短接插頭插入儀器后面插座。

　　8、自動校準失敗

　　原因分析：自動校準設置錯誤、溫度傳感器未接上、靈敏度問題等。

　　解決方法：檢查自動校準設置是否正確，確保溫度傳感器已接上，清洗質(zhì)譜室以提高靈敏度。

　　9、工裝設計不合理導致檢漏通不過

　　原因分析：工裝結(jié)構不合理、內(nèi)表面太粗糙、密封設計不合理等。

　　解決方法：重新設計工裝，使其結(jié)構合理、內(nèi)表面光滑、密封可靠。

　　10、操作不合理導致故障

　　原因分析：操作人員判斷錯誤導致大量氦氣進入質(zhì)譜室造成污染。

　　解決方法：清理質(zhì)譜室并反復吸氣排氣以去除污染。