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新型 ALD20 超高純閥專為突破原子層沉積閥技術(shù)的極限而設(shè)計(jì)，從而使流量達(dá)到使用現(xiàn)有 ALD 閥所能達(dá)到的兩到三倍。該閥門使半導(dǎo)體芯片制造商不僅具有增加產(chǎn)量和提高效率的潛力，而且還可以在不顯著改變工藝的情況下做到這一點(diǎn)。 ALD20 可以在與現(xiàn)有 ALD 閥相同的占用空間 (1.5 in.) 中提供 1.2 Cv 的流量，從而無(wú)需改裝現(xiàn)有設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)更高的性能 第二款標(biāo)準(zhǔn) ALD20 閥類型具

世偉洛克 超高純隔膜閥（ALD7 系列） 世偉洛克 ALD7 超高純閥提供了在新的或已有的半導(dǎo)體制造設(shè)備中，幫助盡可能地提高芯片產(chǎn)量所必需的流量一致性和流通能力、執(zhí)行機(jī)構(gòu)速度、溫度等級(jí)和潔凈度。

我們的高性能 ALD 閥是世偉洛克長(zhǎng)期以來(lái)在半導(dǎo)體制造業(yè)中顯示出迅速積極的技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)力的一個(gè)重要例子。ALD 閥技術(shù)問世以來(lái)，世偉洛克與半導(dǎo)體行業(yè)的客戶密切合作，了解他們的需求，然后打造出 ALD 閥，提供必要的、高水平的精度、一致性、清潔度和高循環(huán)壽命，以跟上市場(chǎng)的快速創(chuàng)新步伐。