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世偉洛克超高純隔膜閥(ALD7 系列)

世偉洛克超高純隔膜閥(ALD7 系列)

簡(jiǎn)要描述:世偉洛克 超高純隔膜閥(ALD7 系列)
世偉洛克 ALD7 超高純閥提供了在新的或已有的半導(dǎo)體制造設(shè)備中,幫助盡可能地提高芯片產(chǎn)量所必需的流量一致性和流通能力、執(zhí)行機(jī)構(gòu)速度、溫度等級(jí)和潔凈度。

產(chǎn)品型號(hào):

所屬分類:閥門

更新時(shí)間:2024-06-18

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

詳情介紹


世偉洛克 ALD7 超高純閥提供了在新的或已有的半導(dǎo)體制造設(shè)備中,幫助盡可能地提高芯片產(chǎn)量所必需的流量一致性和流通能力、執(zhí)行機(jī)構(gòu)速度、溫度等級(jí)和潔凈度。

世偉洛克 ALD7 超高純隔膜閥是世偉洛克五十多年來(lái)支持半導(dǎo)體制造廠家和設(shè)備制造商所取得的原子層沉積 (ALD) 閥門技術(shù)的創(chuàng)新之作。這種高性能的半導(dǎo)體閥門使設(shè)備制造商和芯片制造廠家能夠通過(guò)實(shí)現(xiàn)流量一致性、流通能力、執(zhí)行機(jī)構(gòu)速度和高溫下的性能來(lái)克服當(dāng)前生產(chǎn)工藝的限制,提高芯片產(chǎn)量,從而增加利潤(rùn)率。



ALD7 具有更快的響應(yīng)時(shí)間、高溫下的熱穩(wěn)定性和更強(qiáng)的耐腐蝕性,在超高的循環(huán)壽命中,閥門與閥門、進(jìn)料與進(jìn)料及腔室與腔室之間的一致性能。

  • 即使在非??量痰脑映练e應(yīng)用中,ALD7 也能在上億次的循環(huán)過(guò)程中提供精確的進(jìn)料

  • 提升的執(zhí)行機(jī)構(gòu)技術(shù)使該半導(dǎo)體閥的運(yùn)行速度比行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)快,響應(yīng)時(shí)間低至 5 ms

  • 規(guī)格

    工作壓力真空至 145 psig (10.0 bar)
    爆裂壓力>3200 psig (220 bar)
    執(zhí)行壓力60 至 120 psig(4.1 至 8.27 bar)
    溫度額定值閥體從 32°F (0°C) 至 392°F (200°C)
    執(zhí)行機(jī)構(gòu)從 32°F (0°C) 至 302°F (150°C)
    流量系數(shù)0.7 Cv
    閥體材料316L VIM-VAR 不銹鋼
    隔膜材料鈷基高溫合金
    端接
    類型VCR® 接頭
    卡套管對(duì)焊
    1.5 in. 模塊化表面安裝高流量 C 型密封
  • ALD7 系列閥門目錄

  • 執(zhí)行機(jī)構(gòu)可浸入 150°C,而閥門的額定溫度為 200°C,可在高溫和真空條件下,提供一致的流量

  • ALD7閥體由世偉洛克專有的超高純 316L VIM-VAR 不銹鋼構(gòu)成,具備抵抗腐蝕性氣體的能力

與現(xiàn)有的半導(dǎo)體閥相比,ALD7 可提供更好的流量,但占用空間保持不變。其緊湊的設(shè)計(jì)有助于半導(dǎo)體制造商在不進(jìn)行重大工藝改變的情況下,提升原有設(shè)備的生產(chǎn)力。

  • ALD7 可提供高達(dá) 0.7 的流量系數(shù) (Cv),并實(shí)現(xiàn)不同腔體之間的精確、可重復(fù)的定量規(guī)格

  • 工作壓力真空至 145 psig (10.0 bar)
    爆裂壓力>3200 psig (220 bar)
    執(zhí)行壓力60 至 120 psig(4.1 至 8.27 bar)
    溫度額定值閥體從 32°F (0°C) 至 392°F (200°C)
    執(zhí)行機(jī)構(gòu)從 32°F (0°C) 至 302°F (150°C)
    流量系數(shù)0.7 Cv
    閥體材料316L VIM-VAR 不銹鋼
    隔膜材料鈷基高溫合金
    端接
    類型VCR® 接頭
    卡套管對(duì)焊
    1.5 in. 模塊化表面安裝高流量 C 型密封
  • ALD7 系列閥門目錄




  • ALD7 保持了與世偉洛克符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 ALD 閥相同的 1.5-in. 占用空間

  • 該閥門擁有一個(gè)集成式熱隔離器,縮短了外形尺寸,使系統(tǒng)設(shè)計(jì)者能夠盡可能地利用反應(yīng)腔室附近的有限空間





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