機械渦輪分子泵是一種高效的真空泵,其利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。在電機的帶動下,渦輪分子泵高速旋轉(zhuǎn),動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度(一般為150~400米/秒)。在分子流區(qū)域內(nèi),氣體分子與高速轉(zhuǎn)動的葉片表面碰撞,動量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面運動方向上產(chǎn)生定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。
1、啟動快:機械渦輪分子泵能夠快速啟動并達到工作狀態(tài)。
2、抗輻射能力強:這種泵能承受各種射線的照射而不損壞。
3、耐大氣沖擊:機械渦輪分子泵具有良好的耐大氣沖擊能力。
4、無污染:由于其設(shè)計原理,渦輪分子泵在工作時不會產(chǎn)生油蒸氣污染,因此可以獲得清潔的超高真空環(huán)境。
5、高壓縮比:渦輪分子泵對不同種類的氣體有不同的壓縮比,例如對氮氣或空氣的壓縮比為108~109,對氫氣為102~104,而對于分子量大的氣體如油蒸氣,壓縮比則大于1010。
6、極限壓力低:該泵的極限壓力極低,可達10-9帕。
7、工作壓力范圍寬:機械渦輪分子泵的工作壓力范圍從10-1至10-8帕。
8、抽氣速率高:其抽氣速率可以從幾十升每秒到幾千升每秒(1升=10-3米3)。