萊寶干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。

　　干式真空泵最為明顯的能力就是不用水來做介質(zhì)，與傳統(tǒng)的真空設(shè)備相比，它可以有效的節(jié)約水資源，減少企業(yè)的能源消耗，真正使企業(yè)的生產(chǎn)更加的環(huán)保，并且可以提升企業(yè)生產(chǎn)發(fā)展的能力。同時，在不斷發(fā)展的優(yōu)勢實力下，干泵的性能已經(jīng)充分體現(xiàn)出其自身的優(yōu)勢，要加大對產(chǎn)品應(yīng)用開發(fā)能力的重要性，針對企業(yè)生產(chǎn)的需要，加大對技術(shù)優(yōu)勢能力的不斷帶動，提高產(chǎn)品生產(chǎn)能力的有效展現(xiàn)。

　　萊寶干式真空泵主要有下列幾種形式:

　　1、雙圓裂片式

　　雙圓裂片式設(shè)計和目前流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實上，一些最早期的干泵設(shè)計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設(shè)計使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達(dá)到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然，這種設(shè)計由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

　　2、三葉圓裂片式

　　三葉圓裂片式設(shè)計和雙圓裂片式設(shè)計的原理完q相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計有著相同的優(yōu)點和缺點。為了進(jìn)一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達(dá)，但這也會導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動的能力-下降。同雙圓裂片式設(shè)計一樣，三葉圓裂片式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。

　　3、組合式(羅茨+爪)

　　組合式(羅茨+爪)設(shè)計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計完q相同。也有些廠家將其最后一級改為星型設(shè)計，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設(shè)計可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。

　　4、外部壓縮型螺桿式

　　在外部壓縮型螺桿式設(shè)計中，使用一對等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到最小，同時使得氣體通路最短也簡單。這樣，氣體在泵體內(nèi)停留的時間也最短。雖然這種設(shè)計由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。

　　5、內(nèi)部壓縮型螺桿式

　　除了使用一對非等距螺桿以外，內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計和外部壓縮型螺桿式設(shè)計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當(dāng)?shù)乃?。但在很多工藝中，這種內(nèi)部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。